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壓力傳感器基礎(chǔ)知識(shí)
壓力傳感器基礎(chǔ)知識(shí)
依靠特殊設(shè)計(jì)的電路保證在正常工作及故障(意外短路或斷路)狀態(tài)下都不會(huì)引起燃爆事故, 2本安型即實(shí)質(zhì)平安型的簡(jiǎn)稱。可用在十分易燃易爆的場(chǎng)所。
壓力傳感器基礎(chǔ)知識(shí)
敏感元件是能夠靈敏地感受被測(cè)變量并作出響應(yīng)的元件。如:彈性膜盒能感受壓力的高低而引起形變,
壓力傳感器基礎(chǔ)知識(shí)
<敏感元件是能夠靈敏地感受被測(cè)變量并作出響應(yīng)的元件。如:彈性膜盒能感受壓力的高低而引起形變。形變的水平就是對(duì)壓力高低的響應(yīng),因此,彈性膜盒是一種壓力敏感元件。
而且具有把它對(duì)被測(cè)量的響應(yīng)傳送進(jìn)來(lái)的功能。也就是說(shuō), 傳感器不但應(yīng)該對(duì)被測(cè)量敏感。傳感器不只是一般的敏感元件,輸出響應(yīng)還必須是易于傳送的物理量。例如:上訴的彈性膜盒的輸出響應(yīng)是形變,微小的幾何量,方便于向遠(yuǎn)方傳送。如果把膜盒中心的位移轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙輼O板的間隙變化,就成為輸出響應(yīng)是電容量的壓力傳感器。
所以絕大多數(shù)傳感器的輸出是電量的形式, 由于電信號(hào)便于傳送。如電壓、電流、電阻、電感、電容、頻率等。
就便于把各種變送器和其他儀表組成檢測(cè)系統(tǒng)或調(diào)節(jié)系統(tǒng)。 變送器是從傳感器發(fā)展而來(lái)的凡能輸出規(guī)范信號(hào)的傳感器就稱為變送器。規(guī)范信號(hào)是物理量的形式和數(shù)值范圍都符合國(guó)際規(guī)范的信號(hào)。例如直流 420mA 有了統(tǒng)一的信號(hào)形式和數(shù)值范圍。
必需和特定的儀表或裝置配套, 輸出為非標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器。才干實(shí)現(xiàn)檢測(cè)或調(diào)節(jié)功能。為了加強(qiáng)通用性和靈活性,某些傳感器的輸出可以靠轉(zhuǎn)換器把非規(guī)范信號(hào)轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào),使之與帶有規(guī)范信號(hào)的輸入電路或接口的儀表配套。不同的規(guī)范信號(hào)也可借助于轉(zhuǎn)換器互相轉(zhuǎn)換。例如利用氣/ 電轉(zhuǎn)換器,能把 20 100 kPa 空氣壓力轉(zhuǎn)換成 0 10mA 直流電流。
位式作用和連續(xù)作用:
也稱為開(kāi)關(guān)作用, 位式作用。即傳感器在輸入變量整個(gè)變化范圍內(nèi)其輸出相應(yīng)只有兩種狀態(tài),例如空氣狀態(tài)的高 ” 和 “ 低 ”
位式作用的傳感器多用于被測(cè)變量的超限報(bào)警、連鎖維護(hù)、順序控制。例如我壓力開(kāi)關(guān)。
就必需用連續(xù)作用的傳感器或變送器。 需要連續(xù)檢測(cè)或調(diào)節(jié)某些變量時(shí)。;
長(zhǎng)野的變送器中所使用的傳感器 SS蒸發(fā)型半導(dǎo)體應(yīng)變片的特點(diǎn):
蒸發(fā)式為新技術(shù)。 1 相對(duì)于粘貼式和擴(kuò)散式。
2 其可測(cè)壓力范圍 -0.1 0.3MPa 0 200MPa
3 具有很好耐用性和穩(wěn)定性。
半導(dǎo)體應(yīng)變片的制作方法:粘貼方式、蒸發(fā)方式、擴(kuò)散方式。
如 KM31 KM10 等, 長(zhǎng)野的變送器。其半導(dǎo)體應(yīng)變片部分、感應(yīng)元件(不銹鋼隔膜)以及壓力接口局部通過(guò)焊接連接成一體,具有很高的穩(wěn)定性和可靠性,抗震性和抗沖擊性良好。
蒸發(fā)式半導(dǎo)體應(yīng)變片的具體制作方式如下:
1 不銹鋼隔膜上使用 CVD 等離子沉淀一層 SiO2 絕緣膜
2 SiO2 絕緣膜上再沉淀一層多晶硅。
應(yīng)變片成型 3 多晶硅上使用激光蝕刻。
配上金制電極。 4 用電子束照射蒸鍍。
5 再使用 CVD 等離子沉淀一層 SiNx 維護(hù)膜。
選擇隔爆型及本安型。 根據(jù)傳感器或變送器的裝置場(chǎng)所有無(wú)易燃易爆氣體及危險(xiǎn)程度。
允許使用在有一定危險(xiǎn)性的環(huán)境里 1隔爆型在內(nèi)部電路和周?chē)兹細(xì)怏w之間采取了隔離措施。
